FIB (Focused Ion Beam)

Definition : Le FIB (Focused Ion Beam, faisceau d’ions focalise) est un procede microscopique dans lequel un faisceau d’ions focalise – le plus souvent des ions gallium – est utilise pour l’ablation ou le depot cible de matiere. Il sert a la preparation d’echantillons de haute precision et a l’etude de la microstructure dans la plage du submicrometre au nanometre. Le FIB est souvent combine a un microscope electronique a balayage (FIB-MEB).

Pertinence pratique : Le FIB permet de realiser des coupes locales, des lames TEM ou des tomographies 3D par ablation serielle. Les applications se trouvent dans l’analyse de defaillance, la technologie des semi-conducteurs, l’evaluation des revetements et la recherche sur les materiaux. Les parametres decisifs sont le courant du faisceau, la tension d’acceleration et la minimisation de l’implantation ionique ou des dommages causes par le faisceau.

Perspectives decisionnelles :

• Decideurs techniques : Etude des defauts locaux, des interfaces et des microfissures avec une haute resolution spatiale.
• Achats/gestion de projet : Commande d’analyses specialisees pour des questions complexes de defaillance ou de developpement.
• Science : Preparation d’echantillons TEM, reconstructions 3D et analyses de microstructure a l’echelle nanometrique.
• Assurance/droit : Conservation microscopique des preuves dans les litiges relatifs aux materiaux.

Methodes d’essai ou de verification typiques : Analyse de coupe FIB, preparation de lames TEM, tomographie FIB 3D, combinaison avec EDX ou EBSD.

FAQ :

• A quoi sert un systeme FIB ?
• A la preparation d’echantillons de haute precision, a l’analyse locale de la microstructure et a l’etude des defauts a l’echelle nanometrique.